眾所周知,測量儀器是所有行業中不可缺少的設備,半導體領域更是如此,比如硅晶圓的平整度、芯片的大小、光線的波長,各種設備的分辨率等等。
而有一家深圳企業,18年來,只造出了15台測量儀器,但這些測量儀器,可不簡單,針對的都是工業需求中的測量難題,最高分辨率可達0.1nm,理論上最高可測量0.1nm的芯片。
這家深圳企業叫做深圳市中圖儀器股份有限公司,近日還上了央視的新聞報道。
中圖儀器成立于2005年,一直致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。
其生產出來的設備,用于基礎計量,光學測量、微觀尺寸測量、行業應用檢測等等,其分辨率可從0.
這些設備,屬于科研儀器一種,可以應用于光學測量,比如測量鏡面平整不平整;可以用于半導體領域,比如看看制造出來的硅晶圓平整不平整,起伏有多高。
對硅晶圓而言,平整度是有要求的,一旦平整度不夠高,是不能用于芯片制造的,否則良率會非常低。
還可以用于測量芯片的大小,平整度等,比如央視的新聞中,就是直接對晶圓表面的6.1nm顯微測量,發現其高度差有6.1納米,還需要切割才能使用。
目前國內的科研儀器,基本上是靠進口的,2022年數據,科研儀器的國產化率不到10%,其中高端科研儀器,國產化率更是接近于0。
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